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| HOME / 제품 소개 / 진동 시스템 / Active Isolator / 데스크형/탁상형 Active 제진대 |
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제품 설명 |
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6자유도 Active 제어 |
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사용 환경에 알맞게 Desk & Tabletop 2가지 Type을 선택 가능 |
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2Hz 부근의 저주파 대역의 진동을 Passive Isolator와 비교하여 1/30까지 감쇠 |
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Pneumatic Type의 Active Isolator |
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장소에 구애받지 않고 설치되도록 소형으로 제작 |
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제품 용도 |
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AFM |
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STM |
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Confocal 레이져 현미경 |
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간섭계 시스템 |
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3차원 표면형상 측정기 |
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레이져 변위계 시스템 |
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각종 정밀측정, 정밀 가공기 |
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제품 성능 |
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제품 모델 |
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| Model |
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MATIS (Tabletop) |
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MATIS (Desk) |
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Controller |
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ATT-0605 |
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ATT-0806 |
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ATT-1007 |
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ADT-0605 |
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ADT-0806 |
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ADT-1007 |
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MCA-2B |
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Product
Dimensions (mm) |
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623x543x103 |
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804x604x166 |
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1004x704x166 |
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702x602x750 |
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902x702x750 |
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1102x802x750 |
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177x280x260 |
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Product Weight
(kg) |
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40kg |
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80kg |
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125kg |
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100kg |
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125kg |
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150kg |
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5.5kg |
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| Top Plate Dimensions (mm) |
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590x510 |
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800x600 |
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1000x700 |
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590x510 |
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800x600 |
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1000x700 |
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- |
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| Payload Weight (kgf) |
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150kg |
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| Air Pressure (MPa) |
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0.35MPa ~ 0.8MPa (Dry Clean Air) |
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| Power Supply Voltage |
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AC 100V |
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| Power Consumption |
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210W |
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| Isolation Method |
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Linear motor vibration control |
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| Damping Method |
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Linear motor vibration control |
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| Leveling Method |
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Mechanical valve leveling |
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| Degrees of Freedom |
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6 |
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